Co-phàirtean optaigeach ann an innealan litografaidh

Tha raon farsaing de thagraidhean aig dealbhadh optaigeach ann an raon leth-chonnsachaidh. Ann an inneal fotolithografaidh, tha an siostam optaigeach an urra ri bhith a’ cur fòcas air a’ ghath solais a tha air a sgaoileadh leis an stòr solais agus ga phròiseicteadh air a’ chliath-shìonaig gus am pàtran cuairte fhoillseachadh. Mar sin, tha dealbhadh agus leasachadh phàirtean optaigeach anns an t-siostam fotolithografaidh na dhòigh chudromach air coileanadh an inneil fotolithografaidh a leasachadh. Seo cuid de na pàirtean optaigeach a thathas a’ cleachdadh ann an innealan fotolithografaidh:

Amas ro-mheasaidh
01 ’S e prìomh phàirt optaigeach ann an inneal lithagrafaidh an amas teilgean, agus mar as trice bidh sreath de lionsan ann, nam measg lionsan cobharach, lionsan concave, agus prìosaman.
02 ’S e a dhleastanas pàtran a’ chuairte air a’ masg a lughdachadh agus a fhòcasadh air an uabhar còmhdaichte le photoresist.
03 Tha buaidh chinnteach aig cruinneas agus coileanadh amas an teilgean air rùn agus càileachd ìomhaighean an inneil litografaidh

Sgàthan
01 Sgàthanair an cleachdadh gus stiùireadh an t-solais atharrachadh agus a stiùireadh dhan àite cheart.
02 Ann an innealan litagrafaireachd EUV, tha sgàthanan gu sònraichte cudromach leis gu bheil solas EUV air a ghabhail a-steach gu furasta le stuthan, agus mar sin feumar sgàthanan le ath-fhaileasachd àrd a chleachdadh.
03 Tha buaidh mhòr aig cruinneas uachdar agus seasmhachd an fhrith-sholais air coileanadh an inneil litografaidh cuideachd.

Criathragan
01 Bithear a’ cleachdadh sìoltachain gus tonnan-solais nach eilear ag iarraidh a thoirt air falbh, a’ leasachadh cruinneas agus càileachd a’ phròiseis fotolithografaidh.
02 Le bhith a’ taghadh an criathrag iomchaidh, faodar dèanamh cinnteach nach tèid ach solas de thonn-fhaid sònraichte a-steach don inneal litografaidh, agus mar sin a’ leasachadh cruinneas agus seasmhachd a’ phròiseis litografaidh.

Prismean agus co-phàirtean eile
A bharrachd air sin, faodaidh an inneal litografaidh co-phàirtean optaigeach taiceil eile a chleachdadh cuideachd, leithid prìosaman, polarizers, msaa., gus coinneachadh ri riatanasan litografaidh sònraichte. Feumaidh taghadh, dealbhadh agus saothrachadh nan co-phàirtean optaigeach seo na h-inbhean agus na riatanasan teicnigeach buntainneach a leantainn gu teann gus dèanamh cinnteach à cruinneas agus èifeachdas àrd an inneil litografaidh.

Mar gheàrr-chunntas, tha cleachdadh phàirtean optaigeach ann an raon innealan litografaidh ag amas air coileanadh agus èifeachdas cinneasachaidh innealan litografaidh a leasachadh, agus mar sin a’ toirt taic do leasachadh gnìomhachas saothrachaidh meanbh-eileagtronaigeach. Le leasachadh leantainneach teicneòlas litografaidh, bheir leasachadh agus ùr-ghnàthachadh phàirtean optaigeach comas nas motha airson saothrachadh chips den ath ghinealach.

Airson tuilleadh fiosrachaidh agus comhairle eòlach, tadhail air an làrach-lìn againn aighttps://www.jiujonoptics.com/gus barrachd ionnsachadh mu na toraidhean agus na fuasglaidhean againn.